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发明名称
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5329675(A)
申请公布日期
1978.03.20
申请号
JP19760104585
申请日期
1976.08.31
申请人
NIPPON ELECTRIC CO
发明人
TSUDA HIROSHI
分类号
H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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