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经营范围
发明名称
PHOTORESIST APPLICATOR
摘要
申请公布号
JPS5329674(A)
申请公布日期
1978.03.20
申请号
JP19760104417
申请日期
1976.08.31
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
KAWASE TAKESHI
分类号
H01L21/027;H01L21/302
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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