发明名称 ELECTRON BEAM EXPOSURE APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS5329079(A) 申请公布日期 1978.03.17
申请号 JP19760103443 申请日期 1976.08.30
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 HORI KOUHEI;KATOU HIROSHI
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/26 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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