发明名称 ION ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5327197(A) 申请公布日期 1978.03.14
申请号 JP19760101148 申请日期 1976.08.26
申请人 EIKOO ENJINIARINGU KK 发明人 TAKAHASHI HIROSHI
分类号 H01J37/30;B23K15/00;H01L21/302 主分类号 H01J37/30
代理机构 代理人
主权项
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