发明名称 |
FORMING METHOD OF HIGH RESISTANC E LAYER |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5327376(A) |
申请公布日期 |
1978.03.14 |
申请号 |
JP19760102029 |
申请日期 |
1976.08.26 |
申请人 |
NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE |
发明人 |
NOJIMA SHIYUNJI |
分类号 |
H01L21/70;H01L21/265;H01L21/822;H01L27/04 |
主分类号 |
H01L21/70 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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