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发明名称 SEMICONDUCTOR UNIT
摘要
申请公布号 JPS5326581(A) 申请公布日期 1978.03.11
申请号 JP19760100571 申请日期 1976.08.25
申请人 HITACHI LTD 发明人 TOKI HISASHI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/36;H01L29/70;H01L29/74 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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