发明名称 |
THIN FILM TRANSISTOR AND METHOD OF PRODUCING SAME |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPS5326586(A) |
申请公布日期 |
1978.03.11 |
申请号 |
JP19770098813 |
申请日期 |
1977.08.19 |
申请人 |
WESTINGHOUSE ELECTRIC CORP |
发明人 |
FUAN CHIEN RUO |
分类号 |
H01L29/78;G02F1/1368;H01L27/12;H01L27/15;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L29/78 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|