发明名称 THIN FILM TRANSISTOR AND METHOD OF PRODUCING SAME
摘要
申请公布号 JPS5326586(A) 申请公布日期 1978.03.11
申请号 JP19770098813 申请日期 1977.08.19
申请人 WESTINGHOUSE ELECTRIC CORP 发明人 FUAN CHIEN RUO
分类号 H01L29/78;G02F1/1368;H01L27/12;H01L27/15;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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