发明名称 METHOD OF FORMING ALUMINUM SILICON CONDUCTOR STRUCTURE WITHOUT PROJECTION
摘要
申请公布号 JPS5326692(A) 申请公布日期 1978.03.11
申请号 JP19770094736 申请日期 1977.08.09
申请人 IBM 发明人 JIYOOJI EDOWAADO ARUKOON;JIEEMUSU DOUNAA FUIRII;JIYURIAN CHIYUUNAA RIIMAN
分类号 H01L21/3213;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/768;H01L23/52 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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