发明名称 |
METHOD OF FORMING ALUMINUM SILICON CONDUCTOR STRUCTURE WITHOUT PROJECTION |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5326692(A) |
申请公布日期 |
1978.03.11 |
申请号 |
JP19770094736 |
申请日期 |
1977.08.09 |
申请人 |
IBM |
发明人 |
JIYOOJI EDOWAADO ARUKOON;JIEEMUSU DOUNAA FUIRII;JIYURIAN CHIYUUNAA RIIMAN |
分类号 |
H01L21/3213;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/768;H01L23/52 |
主分类号 |
H01L21/3213 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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