发明名称
摘要
申请公布号 JPS539249(Y2) 申请公布日期 1978.03.10
申请号 JP19740099088U 申请日期 1974.08.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/52;H01L21/316;H01L21/469;H01L21/58;H01L21/60;H01L23/48;H01L29/74;(IPC1-7):H01L21/58 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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