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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING MULTILAYER WIRING STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPS5325381(A) 申请公布日期 1978.03.09
申请号 JP19760099706 申请日期 1976.08.23
申请人 HITACHI LTD 发明人 TANAKA MASAO
分类号 H01L21/768;H01L21/283 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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