发明名称 WIRING METHOD OF LSI
摘要
申请公布号 JPS5325382(A) 申请公布日期 1978.03.09
申请号 JP19760099707 申请日期 1976.08.23
申请人 HITACHI LTD 发明人 KANOU HIROSHI
分类号 H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/118 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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