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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES POSITIV ARBEITENDEN ELEKTRONENSTRAHLRESISTS
摘要
申请公布号 DE2736756(A1) 申请公布日期 1978.03.09
申请号 DE19772736756 申请日期 1977.08.16
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 EDWARD JOHNSON,DUANE;ARLYN PEDERSON,LESTER
分类号 G03F7/20;G03C1/72;G03C5/08;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03C1/71 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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