| 发明名称 |
P RODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5324778(A) |
申请公布日期 |
1978.03.07 |
| 申请号 |
JP19760098695 |
申请日期 |
1976.08.20 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
OKAMURA SHIMUYA;SATOU AKIHIKO;SATOU HIROSHI |
| 分类号 |
H01L21/60;H01L21/28;H01L21/301;H01L21/52 |
主分类号 |
H01L21/60 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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