| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS5324789(A) |
申请公布日期 |
1978.03.07 |
| 申请号 |
JP19770098216 |
申请日期 |
1977.08.18 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
KAYAMA SUSUMU;JIYATSUKU ESU TEI FUANGU |
| 分类号 |
H01L29/762;H01L21/033;H01L21/308;H01L21/339;H01L21/8234;H01L29/10 |
主分类号 |
H01L29/762 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
