DEVICE FOR DEPOSITING THIN FILMS,申请号SU19752141197-传众专利搜索

发明名称	DEVICE FOR DEPOSITING THIN FILMS
摘要
申请公布号	SU563826(A1)	申请公布日期	1978.03.05
申请号	SU19752141197	申请日期	1975.06.04
申请人	SABLEV L.P.,SU;OSIPOV V.A.,SU;STUPAK R.I.,SU	发明人	SABLEV L.P.,SU;OSIPOV V.A.,SU;STUPAK R.I.,SU
分类号	(IPC1-7):C23C15/00	主分类号	(IPC1-7):C23C15/00
代理机构		代理人
主权项
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