发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERVORRICHTUNGEN |
摘要 |
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申请公布号 |
DE2738493(A1) |
申请公布日期 |
1978.03.02 |
申请号 |
DE19772738493 |
申请日期 |
1977.08.26 |
申请人 |
NCR CORP. |
发明人 |
CHENG-YU CHEN,PETER;KENNETH STEWART JUN.,JOHN;KOO,TUH-KAI |
分类号 |
H01L29/78;H01L21/306;H01L21/311;H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/06;(IPC1-7):H01L21/18;H01L21/70;H01L21/308 |
主分类号 |
H01L29/78 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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