发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERVORRICHTUNGEN
摘要
申请公布号 DE2738493(A1) 申请公布日期 1978.03.02
申请号 DE19772738493 申请日期 1977.08.26
申请人 NCR CORP. 发明人 CHENG-YU CHEN,PETER;KENNETH STEWART JUN.,JOHN;KOO,TUH-KAI
分类号 H01L29/78;H01L21/306;H01L21/311;H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/06;(IPC1-7):H01L21/18;H01L21/70;H01L21/308 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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