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摘要
申请公布号
DE1639177(C3)
申请公布日期
1978.03.02
申请号
DE1968D055411
申请日期
1968.02.23
申请人
DEUTSCHE ITT INDUSTRIES GMBH, 7800 FREIBURG
发明人
BLEHER, HARTMUT, DIPL.-ING. DR., 7440 NUERTINGEN
分类号
H01L21/00;H01L21/74;H01L27/00;(IPC1-7):H01L27/08
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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