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发明名称 AETZMITTEL FUER III/V-HALBLEITER
摘要
申请公布号 DE2638302(A1) 申请公布日期 1978.03.02
申请号 DE19762638302 申请日期 1976.08.25
申请人 WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH 发明人 KUHN-KUHNENFELD,FRANZ,DIPL.-PHYS.DR.;KIRSTEN,DIETMAR;MEIER,MARIANNE
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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