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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITERS
摘要
申请公布号
DE2738384(A1)
申请公布日期
1978.03.02
申请号
DE19772738384
申请日期
1977.08.25
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO.,LTD.
发明人
YONEZAWA,TOSHIO;AJIMA,TAKASHI;HIRAKI,SHUNICHI;KOSHINO,YUTAKA
分类号
H01L21/033;H01L21/311;H01L21/314;(IPC1-7):H01L21/308
主分类号
H01L21/033
代理机构
代理人
主权项
地址
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