发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITERS
摘要
申请公布号 DE2738384(A1) 申请公布日期 1978.03.02
申请号 DE19772738384 申请日期 1977.08.25
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO.,LTD. 发明人 YONEZAWA,TOSHIO;AJIMA,TAKASHI;HIRAKI,SHUNICHI;KOSHINO,YUTAKA
分类号 H01L21/033;H01L21/311;H01L21/314;(IPC1-7):H01L21/308 主分类号 H01L21/033
代理机构 代理人
主权项
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