发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR UNTERSUCHUNG VON OBERFLAECHENVORGAENGEN MITTELS EINER FELDEFFEKT-EMISSIONSSPITZE
摘要
申请公布号 DE2733427(A1) 申请公布日期 1978.03.02
申请号 DE19772733427 申请日期 1977.07.23
申请人 AGENCE NATIONALE DE VALORISATION DE LA RECHERCHE 发明人 DRECHSLER,MICHAEL,PROF.
分类号 H01J37/285;(IPC1-7):H01J37/28;G01L11/00;G01N27/62 主分类号 H01J37/285
代理机构 代理人
主权项
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