| 发明名称 |
APPARATUS FOR MEASURING AND CONTROLLING THICKNESS OF THIN LAYER GENERATING OPTICAL EFFECT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5322456(A) |
申请公布日期 |
1978.03.01 |
| 申请号 |
JP19770073775 |
申请日期 |
1977.06.21 |
| 申请人 |
LEYBOLD HERAEUS VERWALTUNG |
发明人 |
HORUSUTO SHIYUBUIIKERU;GERUNOOTO TORUN;HANSU PEETERU EERU |
| 分类号 |
C23C14/54;G01B11/06;G05D5/03 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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