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发明名称 TRAPPING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS5322160(A) 申请公布日期 1978.03.01
申请号 JP19760096092 申请日期 1976.08.13
申请人 TEL THERMCO KK 发明人 SATOU RIYOUZOU
分类号 C30B25/14;B01J3/02;B01J4/00;B01J19/00;H01L21/205 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
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