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发明名称
ETCHING METHOD
摘要
申请公布号
JPS5321573(A)
申请公布日期
1978.02.28
申请号
JP19760095423
申请日期
1976.08.12
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
KINOSHITA HIROSHI;JINNO KIYOKATSU
分类号
H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
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