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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5320780(A) 申请公布日期 1978.02.25
申请号 JP19760094446 申请日期 1976.08.10
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 SAWAMUKO SHIGEYUKI;OGAWA KATSUYUKI;ISHIDA HIDEKUNI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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