发明名称 PLATING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPS5319147(A) 申请公布日期 1978.02.22
申请号 JP19760094169 申请日期 1976.08.07
申请人 FUJI ADOBANSU KK 发明人 SOUGOU SEIICHIROU
分类号 C25D7/12;C25D5/02;C25D17/08;C25D17/12;H01L21/288 主分类号 C25D7/12
代理机构 代理人
主权项
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