发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 GB1502230(A) 申请公布日期 1978.02.22
申请号 GB19760050820 申请日期 1976.12.06
申请人 IBM CORP 发明人
分类号 H01L21/3205;G03F1/00;G03F1/08;H01L21/306;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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