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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5318961(A) 申请公布日期 1978.02.21
申请号 JP19760093860 申请日期 1976.08.05
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 IMAI MITSURU
分类号 H01L23/50;H01L21/58;H01L21/60 主分类号 H01L23/50
代理机构 代理人
主权项
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