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发明名称 ELECTRONIC PHASE COMPARISON APPARATUS FOR THE REMOTE MEASUREMENT OF LAYER THICKNESS
摘要
申请公布号 US4075555(A) 申请公布日期 1978.02.21
申请号 US19770781506 申请日期 1977.03.25
申请人 CANADIAN PATENTS AND DEVELOPMENT LIMITED 发明人 WIGHT, JAMES S.;CHUDOBIAK, WALTER J.;MAKIOS, VASSILIOS
分类号 G01B7/06;G01R25/02;(IPC1-7):G01R27/04 主分类号 G01B7/06
代理机构 代理人
主权项
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