发明名称 DISPOSITIF POUR REALISER LE TIRAGE D'UN CORPS MONOCRISTALLIN A PARTIR D'UNE PELLICULE EN FUSION
摘要 L'invention concerne un dispositif pour réaliser le tirage d'un corps monocristallin à partir d'une pellicule en fusion. Dans ce dispositif qui comporte un creuset 1 contenant une masse en fusion d'un matériau cristallin 2 dans laquelle plonge une pièce de formage 3 traversée par un tube capillaire 4 au-dessus duquel est située une pellicule en fusion 5 reliée à un cristal 6 déjà déposé contre un germe cristallin 7 fixé sur un piston 8, les parties de la pièce 3 formant les parois du tube capillaire 4 ou en contact avec la masse en fusion 2 sont constituées en un matériau inerte ne réagissant pas chimiquement avec le matériau de la masse en fusion aux températures entrant en jeu pour le tirage du corps monocristallin. Application notamment aux appareils de tirage de monocristaux pour la fabrication de composants à semi-conducteurs.
申请公布号 FR2358922(A1) 申请公布日期 1978.02.17
申请号 FR19770021890 申请日期 1977.07.18
申请人 SIEMENS AG 发明人
分类号 C30B15/34;H01L21/208;(IPC1-7):01J17/18 主分类号 C30B15/34
代理机构 代理人
主权项
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