| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5317283(A) |
申请公布日期 |
1978.02.17 |
| 申请号 |
JP19760092613 |
申请日期 |
1976.07.31 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
UENO ATSUSHI |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/28;H01L21/31;H01L21/331;H01L21/336;H01L21/76;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/04;H01L29/06;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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