发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5317281(A) 申请公布日期 1978.02.17
申请号 JP19760092202 申请日期 1976.08.02
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 SUZUKI YASOJI;IIDA TETSUYA
分类号 H01L21/8234;H01L27/04;H01L27/088;H01L29/78 主分类号 H01L21/8234
代理机构 代理人
主权项
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