发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5317287(A) 申请公布日期 1978.02.17
申请号 JP19760091336 申请日期 1976.08.02
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 MOTOJIMA MASATOSHI;AOYAMA MASAHARU;KOTANI SHIGEO
分类号 H01L23/522;H01L21/283;H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
地址