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经营范围
发明名称
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5317287(A)
申请公布日期
1978.02.17
申请号
JP19760091336
申请日期
1976.08.02
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
MOTOJIMA MASATOSHI;AOYAMA MASAHARU;KOTANI SHIGEO
分类号
H01L23/522;H01L21/283;H01L21/768
主分类号
H01L23/522
代理机构
代理人
主权项
地址
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