| 发明名称 |
MANUFACTURE OF THREE-DIMENSIONAL DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0233918(A) |
申请公布日期 |
1990.02.05 |
| 申请号 |
JP19880184373 |
申请日期 |
1988.07.22 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
NAMURA TAKASHI;MIYAI YUKIO |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/20;H01L21/84;H01L27/00 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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