发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPS5317280(A) 申请公布日期 1978.02.17
申请号 JP19760091412 申请日期 1976.08.02
申请人 HITACHI LTD 发明人 NAITOU MASAMI
分类号 H01L29/861;H01L29/74 主分类号 H01L29/861
代理机构 代理人
主权项
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