发明名称 INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS5316588(A) 申请公布日期 1978.02.15
申请号 JP19760090184 申请日期 1976.07.30
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 HIRABAYASHI KANJI
分类号 H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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