发明名称 SEMICONDUCTOR PRESSURE TRANSDUCER
摘要
申请公布号 JPS5316589(A) 申请公布日期 1978.02.15
申请号 JP19760091083 申请日期 1976.07.29
申请人 HITACHI LTD 发明人 MATSUSHITA YASUO;KOSUGI TETSUO;SHIMASOE MICHITAKA;YAMAZAKI TAKEO;NEMOTO HIDEYUKI
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84;H01L45/00 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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