发明名称 SCANNING ELECTRONIC MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPS5315740(A) 申请公布日期 1978.02.14
申请号 JP19760089231 申请日期 1976.07.28
申请人 HITACHI LTD 发明人 YAMADA MITSUHIKO;NAGATANI TAKASHI
分类号 H01J37/244;H01J37/28 主分类号 H01J37/244
代理机构 代理人
主权项
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