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发明名称
摘要
申请公布号	JPS533897(B2)	申请公布日期	1978.02.10
申请号	JP19730121675	申请日期	1973.10.31
申请人		发明人
分类号	C23C14/14;H01L39/12	主分类号	C23C14/14
代理机构		代理人
主权项
地址

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