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发明名称 ELECTRON BEAM POSITION DETECTION METHOD
摘要
申请公布号 JPS5315076(A) 申请公布日期 1978.02.10
申请号 JP19760089055 申请日期 1976.07.28
申请人 NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE 发明人 MATSUDA KOREHITO
分类号 H01L21/027;H01L21/68 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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