| 发明名称 |
PRODUCTION OF PHOTO MASK |
| 摘要 |
<p>PURPOSE:To produce two kinds of photo masks reverse of light and darkness by using one kind of resist.</p> |
| 申请公布号 |
JPS5314570(A) |
申请公布日期 |
1978.02.09 |
| 申请号 |
JP19760088804 |
申请日期 |
1976.07.26 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE |
发明人 |
TSUDA NOBUO |
| 分类号 |
G03F1/00;G03F1/68;G03F1/80;H01L21/027;H01L21/302 |
主分类号 |
G03F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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