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经营范围
发明名称
CLEAN BENCH
摘要
申请公布号
JPS5314574(A)
申请公布日期
1978.02.09
申请号
JP19760088157
申请日期
1976.07.26
申请人
HITACHI LTD
发明人
SUGIMOTO KINYA
分类号
H01L21/02;H01L21/48
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
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