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发明名称 ETCHING METHOD AND MIXED GAS FOR ETCHING
摘要
申请公布号 JPS5314573(A) 申请公布日期 1978.02.09
申请号 JP19760089400 申请日期 1976.07.26
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NAGATA KAZUSHI;SUEHIRO KAZUTO;KINOSHITA SHIGEJI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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