| 发明名称 |
TARGET FOR MAGNETRON SPUTTERING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04276070(A) |
申请公布日期 |
1992.10.01 |
| 申请号 |
JP19910064088 |
申请日期 |
1991.03.04 |
| 申请人 |
DAIDO STEEL CO LTD |
发明人 |
KANEDA YASUSHI;YAHAGI SHINICHIRO;MURASE HIROYASU |
| 分类号 |
C22C19/07;C23C14/06;C23C14/34;C23C14/35 |
主分类号 |
C22C19/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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