| 发明名称 |
METHOD FOR CONFIRMING FILM THICKNESS IN CONTINUOUS SPUTTERING SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04276072(A) |
申请公布日期 |
1992.10.01 |
| 申请号 |
JP19910036278 |
申请日期 |
1991.03.01 |
| 申请人 |
SHOWA SHINKU:KK |
发明人 |
II TORU;TAKAHASHI OSAMU;HAMASHIMA KAZUHIKO |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/54;C23C14/56 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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