发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5311573(A) 申请公布日期 1978.02.02
申请号 JP19760086132 申请日期 1976.07.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 UEMURA HIDEYUKI;MASUDA TOSHIO;KIRISAKO TADASHI
分类号 H01L21/74;H01L21/225 主分类号 H01L21/74
代理机构 代理人
主权项
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