发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5311575(A) 申请公布日期 1978.02.02
申请号 JP19760086137 申请日期 1976.07.19
申请人 FUJITSU LTD;FURUKAWA KOGYO KK 发明人 ISHIGURO SABUROU;SUDOU ICHIROU;NAKAYAMA KAZUFUMI;SHIMODA HARUO;TAKAGI MIKIO
分类号 C30B31/08;H01L21/223 主分类号 C30B31/08
代理机构 代理人
主权项
地址
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