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发明名称 APPARATUS FOR ZONE MELTING OF METALS AND SEMICONDUCTORS
摘要
申请公布号 JPS5311104(A) 申请公布日期 1978.02.01
申请号 JP19760085194 申请日期 1976.07.19
申请人 V NAUCHINOOISUSUREDOBUATERUSUK 发明人 IRUYA NAUMOBUICHI MUNITSU;SERUGEI EBUKENIEBUICHI MARAEFU;BURADEMIRU PABUROBUICHI MAHAIR
分类号 C30B13/00;C30B13/20;H01L21/02;H01L21/208 主分类号 C30B13/00
代理机构 代理人
主权项
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