| 发明名称 |
MANUFACTURE OF RESIST STRUCTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0750286(A) |
申请公布日期 |
1995.02.21 |
| 申请号 |
JP19910119178 |
申请日期 |
1991.04.22 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
REKAI ZECHI;HORUSUTO BORUNDERUFUAA;EFUA RITSUSERU;RAINAA ROISHIYUNAA;MIHIAERU ZEBARUTO;HERUMUUTO AANE;JIIKUFURIITO BIRUKURE |
| 分类号 |
G03F7/029;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/20;G03F7/26;G03F7/32;G03F7/36;G03F7/38;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
G03F7/029 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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