发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5310286(A) 申请公布日期 1978.01.30
申请号 JP19760085444 申请日期 1976.07.16
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KAWAKAMI MINORU
分类号 H01L21/301;H01L27/00;H01L29/74 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
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