| 发明名称 |
MESA TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
PURPOSE:To form three continuous mesa grooves and isolate a wafer to chips including the central mesa grooves. |
| 申请公布号 |
JPS5310279(A) |
申请公布日期 |
1978.01.30 |
| 申请号 |
JP19760085443 |
申请日期 |
1976.07.16 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
FUJII TOSHIYUKI |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/316;H01L21/331;H01L29/06;H01L29/74;H01L29/861 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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